材料·结构
构成SAW设备的基本要素就是上面所说的叉指式换能器(IDT)和反射器(Grating)。要反射波长λ的弹性表面波,则需在反射器上设置λ/2的间距,并连接多个电极等反射源等,由此可以从总体上获得较大的反射率。下面介绍几台使用了IDT或反射器的SAW设备结构。
图3
SAW谐振器
图4
图5
在通过IDT激励的SAW的传播方向设置反射器,由此可以引发谐振。利用了这个特性的弹性表面波设备就是SAW谐振器。只有一个IDT时称作单端口谐振器,而在两个反射器之间设置了2个带有输入、输出端子的IDT时称作双端口谐振器,根据IDT之间的传输特性,有时也可作为滤波器使用。
横向型
图6
横向型大多用于TV用IF滤波器或BS接收器用滤波器等。通过对波的电极指公差范围的调整,可以设计具有灵活性的频率特性。
梯型
图7
图8
现在SAW设备已经被广泛应用于手机等设备。这里使用的结构大致可以分为2种。一种是被称为梯型的滤波器,即将上述单端口谐振器连接成梯型状态的滤波器。