MicroGen公司于美国伊利诺伊州举办的Sensors Expo and Conference展览会中宣布,其振动式能量采集BOLT Power Cell实现实时无线传感器网络(WSN),其采用凌力尔特(Linear Technology)Dust Networks LTC5800-IPM SmartMesh IP mote-on-chip。凌力尔特的mote系由MicroGen压电式微机电系统(MEMS)振动能量收集器或微功率发电机(MPG)技术进行供电。
凌力尔特的WSN包括四个mote,并采用高效功率受控通讯的WSN软件。自我供电式mote是由设定于120Hz典型工业振动级和0.2g(g=9.8m/s2)的加速度G级电子振动器所致能。MicroGen将此种由振动提供电能的mote分别设置于凌力尔特和X-FAB MEMS Foundry的展位,这些mote距离MicroGen展位约20~30公尺,为首次完成采用全MEMS能量收集进行供电的WSN。
MicroGen BOLT Power Cell内部为一小型半导体MEMS芯片,其采用类似计算机芯片业之制程制造,芯片为一约1.0平方公分(cm2)的压电式MEMS MPG,其内含压电式薄膜末端质量加载微悬臂,当MPG的悬臂因外部振动力而上下弯曲时将产生交流(AC)电。在谐振时AC功率输出达到最大,此时其约为100μW (120Hz和≥0.1g时)和900μW(600Hz和≥0.5g时)。