微电子所“固态射频电源系统”项目荣获第七届国际发明展银奖

11月9日至12日，第七届国际发明展览会暨国际教学新仪器和新设备展览会在昆山举行，微电子所“固态射频电源系统”和“45-22nm集成式光学临界尺度（OCD）在线检测设备”两个项目获得“银奖”。

此次展会重点聚焦能够体现产业特色、彰显产品特点的优秀技术、节能减排产品、高端装备制造、生物技术、新材料、新能源、新一代信息技术等战略性新兴产业和文化产业有关的产品。除国内各省市、自治区及有关行业协会、解放军等单位参展外，境外也有40多个国家和地区派团参展，展位数超2400个，参展人数超10万人次。

微电子所作为“首都科技条件平台中科院研发试验服务基地”的首批签约成员单位，继2011年第二十届中国发明展上取得好成绩后，今年又受邀参加此次展览。微电子所设备技术研究室经过筛选，组织了“固态射频电源系统”和“45-22nm集成式光学临界尺度（OCD）在线检测设备”两个项目参展，这两个项目均得到了国家科技重大专项的支持，不少观众驻足观看项目介绍，咨询相关技术细节。经组委会组织的专家评审，微电子所的两个参展项目均获得本次展览的“银奖”。（中国科学院微电子所）