维易科和IMEC联手开发用于LED和功率器件的硅基氮化镓材料

美国外延沉积和工艺设备制造商维易科仪器公司与比利时欧洲微电子研发中心（IMEC）开展项目合作，以降低硅基氮化镓功率器件和LED的成本。

IMEC的首席科学家巴润·杜塔说：“维易科公司的有机金属化学气相沉积（MOCVD）设备在生产率、重复性、均匀性及晶体质量方面都有助于我们达到硅基氮化镓LED和功率器件应用开发里程碑，有助于研制最先进的D模式（耗尽模式）和E模式（增强模式）功率器件。我们的目标是建立一个完整的生产基础设施，使硅基氮化镓成为一项具有竞争力的技术。”

IMEC与多行业伙伴合作开展硅基氮化镓研究及相关项目，采用200毫米硅基底及200毫米CMOS兼容的基础设施开发氮化镓LED及功率器件。通过IMEC的合作，各公司共享成本、人才和知识产权，开发先进的技术，并尽快推向市场。

维易科仪器公司MOCVD的高级副总裁兼总经理吉姆·杰姆森说：“我们自从2011年就与IMEC合作开发此项目，并为我们所取得的进展感到鼓舞。我们的工作互惠互利，我们都专注于在使硅基氮化镓器件性能保持世界一流的同时降低其成本。此项技术可用于研制低成本的用于固态照明的LED，以及用于电源及适配器、太阳能电池板的光伏逆变器、电动车的功率转换的更高效的功率器件。

（工业和信息化部电子科学技术情报研究所 薛力芳）