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| 更新时间： | 2014-08-18 14:43:01 |
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噪声系数 (NF) 测量是在制造业研发和流程验证中进行器件表征的关键环节。进行精确的晶圆噪声系数测量可能并不简单，要想得到良好的测量结果，这取决于所采用的测量方法和测试配置。
噪声系数测量一般使用两种方法 : Y 因子方法和冷源法。Y 因子 ( 或热 / 冷源 ) 测量法是两者中的主导方法，大多数情况下通过噪声系数分析仪和基于频谱分析仪的解决方案来实现。相比之下，冷源测量法一般通过矢量网络分析仪 (VNA) 实现，分析仪提供幅度和相位信息。因此，冷源技术能够获得更高的噪声系数测量精度。
本应用指南讲解了基于 AgilentPNA-X 微波网络分析仪的冷源测量解决方案。PNA-X 装有信号源校正噪声系数测量选件 ( 选件 029)，提供一流的精度。新硬件支持高达 50 GHz 的测量。在 50 GHz 至 67 GHz 频率范围内进行测量时，需要使用额外的外部硬件。PNA-X 还能够缩短测量时间 : 它通过与被测器件 (DUT) 进行单次连接来执行多种测量，例如噪声系数、S参数、增益压缩和互调失真 (IMD)。
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