安捷伦使用光波元器件分析仪进行光电元器件的晶圆上测试

当在晶圆上执行光电元器件的测量时(例如器件处理的早期阶段，或者需要被测件电子接口的精确相位信息的平衡操作中)，为器件夹具和电缆提供全面参考而将电光校准参考平面精确地扩展到被测件接口非常重要。电子多端口校准套件、晶圆上校准标准件与表征工具一起使用，能够以距离被测件最近的同轴接口为参考对设施执行电子校准，并将这个校准平面扩展到被测件连接平面，例如超出晶圆探头。

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