| 资料语言： | 简体中文 |
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| 更新时间： | 2014-03-18 16:42:17 |
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随着信息技术的高速发展，现有微波频谱日益拥挤，更高工作频率及更宽工作频带的系统研究已经受到世界各国的关注并取得了一定的进展。
随着毫米波雷达、毫米波制导和毫米波通信等系统的发展以及对小型化、高性能的需求, 系统集成化、单片化技术已经成为各国目前的研究热点。
利用MEMS 工艺制作的毫米波无源器件，具备小体积、高性能、一致性好且可以与常规 MMIC 工艺相兼容等优点，成为解决单片毫米波收发组件的最佳手段。
本文介绍了MEMS毫米波滤波器的结构、原理，以及MEMS毫米波滤波器的工艺流程
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