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GB/T 26068-2010 硅片载流子复合寿命的无接触微波反射光电导衰减测试方法

2013-01-05 我要评论(0) 字号：大中小

主题资源：微波

标准编号：GB/T 26068-2010
标准名称：硅片载流子复合寿命的无接触微波反射光电导衰减测试方法
行业分类：国家标准(GB)
中标分类：半金属与半导体材料综合(H80)
ICS分类：半导体材料(29.045)
标准简介：－
英文名称：Test method for carrier recombination lifetime in silicon wafers by non-contact measurement of photoconductivity decay by microwave reflectance
发布部门：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局中国国家标准化管理委员会
发布日期：2011-01-10
实施日期：2011-10-01
首发日期：－
提出单位：－
归口单位：全国半导体设备和材料标准化委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2)
主管部门：全国半导体设备和材料标准化委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2)
起草单位：有研半导体材料股份有限公司、瑟米莱伯贸易(上海)有限公司、中国计量科学研究院、万向硅峰电子有限公司、广州昆德科技有限公司、洛阳单晶硅有限责任公司
起草人：曹孜、孙燕、黄黎、高英、石宇、楼春兰、王世进、张静雯
计划单号：－
页数：28页
出版社：中国标准出版社
出版日期：2011-10-01

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