资料语言: | 简体中文 |
资料类别: | PDF文档 |
浏览次数: | 0 |
评论等级: | |
更新时间: | 2014-03-18 23:04:59 |
资料查询: |
基于MEMS技术的滤波器是现行RF 结构中一个关键的MEMS器件。与传统的采用金属 矩形或圆柱波导以及半导体元件制作的滤波器相比,MEMS滤波器具有低损耗、高隔离度、线性好、体积小、易于集成等优点。对利用MEMS 技术制作的滤波器做了分类总结, 综述了近几年 MEMS 滤波器的研究进展, 包括硅体微加工滤波器、LIGA 传输线型滤波器和基于MEMS 开关/电 容实现的可调滤波器。指出可调滤波器的开发适应微波、毫米波波段的多频段、宽带无线通信系统的迫切需要, 具有重要的现实意义。
温馨提示:本站不提供资料文件下载,仅提供文件名称查询,如有疑问请联系我们。