毫米波硅基微机械屏蔽膜微带线和滤波器

介绍了一种屏蔽膜微带线，该型传输线为介质薄膜所支撑．周围为空气，并为金属面所屏蔽，具有可忽略 不计的衬底损耗及色散效应．以及很小的辐射损耗。运用HFSS三维电磁场仿真软件对毫米波屏蔽膜微带线与滤波 器进行了仿真设计，运用MEMS工艺在两层高阻硅衬底上进行了样品的研制．样品取得了良好的测试结果．其中屏 蔽膜微带线插入损耗小于0．1 dB／mm。

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