射频系统中MEMS谐振器、滤波器基础理论及其应用研究

射频MEMS技术是近年来发展迅速的高新技术，它具有微型化、低损耗、可集成、成本低等特点，用它实现相关射频器件或系统可为无线通信技术带来新的变化。本论文受重庆市教育委员会科学技术研究项目“基于复合腔结构MEMS谐振器、滤波器应用研究”(No．020508)支持，主要研究了射频MEMS谐振器、滤波器相关的基础理论及其器件设计研究。

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