Mo离子注入对金刚石涂层附着性能的影响

物理学报  2002, Vol. 51  Issue (2): 347-350

杨仕娥, 姚宁, 王小平, 李会军, 马丙现, 秦广雍, 张兵临
郑州大学物理工程学院,郑州450052

摘要： 采用Mo离子注入工艺对YG6硬质合金基体表面进行处理,用微波等离子体CVD(MPCVD)法沉积金刚石涂层,研究了Mo离子注入工艺对金刚石涂层附着性能的影响.结果表明,Mo离子注入后,硬质合金基体表面的化学成分发生了明显变化;采用适当剂量的Mo离子注入基体,可使CVD金刚石涂层的附着性能显著提高.

引用本文:   
杨仕娥,姚宁,王小平 等 . Mo离子注入对金刚石涂层附着性能的影响. 物理学报, 2002, 51(2): 350. 
Cite this article:   
$author.xingMing_EN,$author.xingMing_EN,$author.xingMing_EN et al. . Acta Phys. Sin., 2002, 51(2): 347-350. 

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