RF MEMS 理论·设计·技术

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本书共分15章：内容主要包括：RF MEMS器件的静态、动态和电磁模型；MEMS开关的制备、封闭、可靠性及功率处理能力；MEMS开关的电路设计；MEMS移相器、变容器、可调谐 振荡器和电感器；可重构的MEMS网络、滤波器、天线和子系统；MEMS电路、称相器和振荡器的相噪声分析；同时介绍了RF MEMS开关的应用领域、国际RF MEMS 研究进展及未来的发展方向。
本书取材广泛、内容深刻，是本领域的权威著作。适合微电子技术、微波技术、微机电系统技术领域的高年级本科生、研究生及工程技术人员阅读。

1 微波应用的RF MEMS导论
1.1 RF MEMS的起源
1.2 RF MEMS的构造
1.3 RF MEMS开关和GaAs PIN二极管及晶体管开关比较
1.4 RF MEMS的应用领域
1.5 RF MEMS实例研究
1.6 国际RF MEMS的研究状况
1.7 RF MEMS与Si或GaAs电路的集成
1.8 线性度和互调分量
1.9 气密或非气密封装
1.10 功率处理能力和可靠性
参考文献
2 MEMS器件的力学模型：静态特性分析
2.1 固支梁的弹性系数
2.2 低K梁的弹性系数
2.3 悬臂梁的弹性系数
2.4 圆膜的弹性系数
2.5 应用梯度引起梁弯曲
2.6 静电激励
2.7 静电激励下变形梁的形状
2.8 MEMS固支梁与悬臂的直流对紧维持电压
2.9 作用在MEMS梁上的力
2.10 MEMS电容开关的自激励现象
2.11 MEMS电容开关的RF压紧维持电压
2.12 模拟模式中的电容比
2.13 静电激励梁的稳定性
2.14 MEMS器件中的电压击穿
2.15 温度变化的影响
2.16 加速度力和声波力的影响
2.17 MEMS分析软件
3 MEMS器件的力学模型：动态特性分析
……
4 MEMS开关的电磁模型
5 MEMS开关库
6 MEMS开关的加工和封装
7 MEMS开关可靠性与功率处理能力
8 MEMS开关电路的设计
9 MEMS移相器
10 分布式MEMS移相器和开关
11 MEMS变容器和可调振荡器
12 微机械电感
13 可重构MEMS网络、滤波器、天线和子系统
14 MEMS移相器和振荡相位噪声的分析
15 RF MEMS需进一步研究的工作
附录
参考文献